 |
|
|
11.МБ.73. Высокотемпературные, радиационно-стойкие датчики температуры на основе карбида кремния
Афанасьев А.В., Ильин В.А., Корляков А.В., Лучинин В.В., Никитин И.В., Петров А.А. Всерос. конф. с междунар. участием "СЕНСОР-2000. Сенсоры и микросистемы", Санкт-Петербург, 21–23 июня, 2000: Тез. докл. СПб. 2000, с. 65. Рус.
Датчики т-ры представляют наиболее популярный спектр рынка датчиков. В то же время задача надежного измерения т-ры в условиях комплексного воздействия высоких т-р и ионизирующего излучения является актуальной проблемой. На основе широкозонного полупроводникового материала карбида кремния разработаны высокот-рные, радиационно-стойкие датчики т-ры. Повышенные эксплуатац. х-ки датчиков достигаются за счет термич. и радиац. стойкости карбида кремния. Для измерения т-ры используются два типа преобразователей: терморезистивный и на основе диода с барьером Шоттки. В конструкции терморезистивного элемента использована технология "карбид кремния на изоляторе". Для уменьшения тепловой связи с корпусом терморезистор располагается на тонкой кремниевой МБ. Разработанная конструкция чувствит. элемента допускает его использование как компонента гибридных мультисенсорных систем.
Ключевые слова: акк датчики% н высокот-рные, радиационностойкие% акк кремний карбид% н основа% акк температура измерение% акк мембраны неорганические% н кремниевые% н подложки для терморезисторов
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
