 |
|
|
11.МБ.256. Способ и устройство для дозирования диоксида углерода в особо чистую воду
Einrichtung und Verfahren zum Hinzufugen von Kohlendioxidgas zu ultrareinem Wasser. Katou Hitoshi, Sakai Kazunari, Kambe Toshio, Qi Kazumi. Заявка 19853638 Германия, МПК 7 C 01 F 1/68. Dainippon ink and Chemicals, Inc. № 19853638.0; Заявл. 20.11.1998; Опубл. 25.05.2000. Нем.
Способ предназначен для поддержания на постоянном, заданном уровне величины электропроводности особо чистой воды, используемой в произ-ве полупроводников. Метод состоит в том, что в основной поток особо чистой воды дозируется небольшая часть такой же воды, предварительно смешанной с CO2. Устр-во для смешения представляет собой мембранный модуль на базе полых волокон, к-рые размещаются в закрытом цилиндрич. корпусе. CO2 при постоянном давл. от 0,15 до 1,5 бар подается в объем корпуса, а через волокна прокачивается подлежащая насыщению вода; скорость потока от 2 до 8 л/мин. Показано, что электропроводность обработанной таким образом воды отличается стабильностью.
Ключевые слова: акк вода% н особо чистая, получение% акк электропроводность% н поддержание на заданном уровне% акк углерод диоксид% н дозирование% акк полупроводники% н произ-во% акк мембраны половолоконные% н использование% акк мембранные модули% н для смешения, в закрытом цилиндрич. корпусе
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
