 |
|
|
12.МБ.186. Избирательная проницаемость H2через палладиевые мембраны, изготовленные по специальной технологии
Selective H2 permeation through microsystem fabricated Pd membranes. Gielens Frank C., Vorstman Marius A.C., Keurentjes T.F. EUROMEMBRANE 2000: Conf., Jerusalem, Sept. 24–27, 2000: Program and Abstr. Tel Aviv: Target Tours. 2000, с. 298. Библ. 1. Англ.
Изготовлена и исследована МБ, полученная нанесением слоя Pd толщиной ≤1 мкм на слоистую кремниевую структуру, в к-рой по спец. технологии травления получены каналы для переноса газа шириной 20 мкм, идущие вдоль ПВ Pd. Благодаря такой толщине слоя Pd достигаются большие потоки H2, не ограниченные массопереносом в газовой фазе. Малая ширина каналов сильно увеличивает скорость массопереноса. Изготовленная МБ устойчива при т-ре 400ºC и ожидается, что она может использоваться при т-ре 600ºC. Исследованы поток H2 через МБ, ее избирательность и стабильность в ф-ции парц. давл. H2 и т-ры. Разработана стальная оправка для МБ, компенсирующая различие в т-рной деформации кремниевой подложки МБ и стали и исключающая утечки газа. На стороне ретентата протекала смесь H2 и He, а на стороне пермеата – чистый N2. Выбор He обусловлен малым размером его молекул и большим коэф. диффузии H2 в среде He, что уменьшало сопротивление массопереносу. Изменяя конц-ию He достигали изменения парц. давл. H2 при сохранении общего давл. на стороне ретентата. Поток через МБ и ее избирательность определялись измерением конц-ии H2 и He в потоке N2 на стороне пермеата с помощью хроматографа. Полученные опытные данные сопоставлены с результатами расчетов на основе модели, предложенной Уордом и Дао в 1999 г.
Ключевые слова: акк мембраны неорганические% акк палладий% н слои, нанесенные на слоистую кремниевую структуру% н изготовление% акк травление% н для получения каналов% акк водород% к проницаемость% н выделение из газовых смесей
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
