 |
|
|
20.МБ.46. Новый подход к микромашинной технологии изготовления сенсоров: микроэлектронные чипы с тонкой мембраной из оксида алюминия
Васильев А. А., Гогиш-Клушин С. Ю., Харитонов Д. Ю., Паранджапе М., Певгов В. Г., Писляков А. В.. Сенсор. 2002, № 3, с. 23–29, 55, 6 ил. Библ. 5. Рус.; рез. англ.
В работе продемонстрирована возможность нового подхода к изготовлению микромашинных мембран, используемых в качестве носителя для различных типов сенсоров, таких как датчики давления, концентрации и потока газа и т. д. Предлагаемый подход состоит в применении тонких мембран из оксида алюминия толщиной 10-40 мкм, расположенных на рамке из керамического оксида алюминия. Такие микроэлектронные чипы - простая и недорогая альтернатива традиционной технологии микромашининга, использующей кремний в качестве исходного материала. Показана возможность изготовления достаточно больших по площади (диаметром до 40 мм) мембран и нанесения на их поверхность любых элементов сенсора с помощью технологии тонких и толстых пленок. Достаточно низкая теплопроводность материала мембраны позволяет получать приборы, работающие при высокой температуре и потребляющие при этом небольшую мощность. Применение элементов, полностью состоящих из оксида алюминия, позволяет избежать проблем, связанных с различием в коэффициентах термического расширения материалов, составляющих конструкцию сенсора. Эти проблемы типичны для микромашинных приборов, в которых используется кремний.
Ключевые слова: АКК полупроводниковые приборы, н чипы, АКК мембраны, АКК алюминий оксид
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
