 |
|
|
24.МБ.312. Способ и устройство для получения особо чистой воды, имеющей повышенную температуру
High-temperature ultrapure water production apparatus and liquid medicine preparation apparatus equipped with the production apparatus. . Пат. 6562205 США, МПК 7 C 02 F 1/46. Mitsubishi Denki KK, Ban Cozy, Koba Kazunori, Momose Shoichi, Iwai Toshinori. №09/554558; Заявл. 18.09.1998; Опубл. 13.05.2003: Приор. 31.03.1997, №9-79277(Япония); НПК 204/242. Англ.
Способ предназначен, в частности, для подготовки воды, используемой в производстве полупроводников. Схема обработки многоступенчатая, вначале следуют ступени предварительной обработки (фильтрование, сорбция на акт. угле), затем вода подвергается обработке методом обратного осмоса, деионизации, эвапорации и нагреву до 35ºC (нагретая вода находится в режиме рециркуляции с целью обеспечения постоянной температуры). Узел деионизации имеет анод и катод, между которыми находятся камеры, разделенные ионообменными мембранами, эти камеры заполнены ионообменными смолами, узел генерирует также кислую воду (в анолитной камере), и щелочную (в католитной). Сопротивление подготовленной воды не ниже 18 МОм/см.
Ключевые слова: АКК полупроводники, н произ-во, АКК вода технология, АКК вода, н особо чистая с повышенной т-рой, н получение, устр-во
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
