 |
|
|
24.МБ.323. Оборудование для разделения газовой смеси
Gas separation apparatus. . Пат. 6551387 США, МПК 7 B 01 D 53/02. Organo Corp., Abe Tetsuya, Tanzawa Sadamitsu, Hiroki Seiji, Tajima Yoshinori, Futatsuki Takashi. №09/915915; Заявл. 26.07.2001; Опубл. 22.04.2003: Приор. 26.07.2000, №2000-225881(Япония); НПК 96104. Англ.
Патентуется оборудование для разделения отходящей газовой смеси перфторсоединений на компоненты: CF4, NF3, C2F6, C3F8, SF6 и CHF3 с целью их возврата и утилизации в процессе производства полупроводников. Оборудование включает: а) аппараты для адсорбирования специфических газов в смеси и десорбирования их в газ продувки, в частности, азот; б) хроматографический сепаратор CF4 и NF3. Дано описание технологии разделения газов с применением сорбентов, мембран и криогеники.
Ключевые слова: АКК разделение, АКК газы отходящие, к перфторсоединения, АКК адсорберы, АКК сепараторы, н хроматографич., АНН возврат в цикл, АКК полупроводники, н произв-во
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
