|
|
[ На предыдущую главу]
Заключение
Таким образом, варьируя основные параметры CVD-процесса, можно переходить из одной макрокинетической области в другую и добиваться тем самым получения металлического слоя либо на внутренней поверхности керамической подложки, либо на внешней. В результате работы установлено, что для формирования анизотропной структуры Мо-керамических мембран необходимо, чтобы CVD-процесс осуществлялся во внешнедиффузионной области. Этому способствуют:
– невысокая температура испарения Мо(СО) 6 – порядка 60°С,
– температура подложки около 400°С и
– увеличение продолжительности процесса осаждения до 6 часов, в зависимости от того, какой толщины металлический слой необходимо сформировать.
[ На Список литературы] [На Содержание]
Copyright ©
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|