 |
|
|
|
Крит. технол. Мембраны. 2001. № 9, с . 28–33
АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ МОЛИБДЕНОВОГО СЛОЯ
НА ПОРИСТЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ
О.Е . Гадалова, В.В. Скудин
Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева
Изучение структуры селективного слоя композиционных неорганических мембран позволяет не только предсказать их эксплуатационные характеристики, но и получить обоснование для выбора условий формирования слоя с определенными, заданными характеристиками. В настоящей работе представлен анализ структуры молибденового слоя, осажденного из паров гексакарбонила молибдена. Установлено, что при проведении осаждения при атмосферном давлении существенное влияние на формирование слоя оказывает температура процесса и образование слоя на внешней поверхности происходит при температурах не ниже 400°С. Обнаружено, что при формировании молибденового слоя на поверхности пористой подложки наблюдается несколько типов структуры молибденовой фазы. Показано, что в зависимости от температурного режима процесса осаждения возможно образование плотного и пористого молибденового слоя.
Ключевые слова: композиционные неорганические мембраны, керамическая подложка, Мо, химическое осаждение из газовой фазы.
The investigation of the selective layer structure of composite inorganic membranes allows to predict their operating parameters and determine conditions for the formation of the layer with the necessary parameters. This work is devoted to the study of structure of the molybdenum layer obtained by hexacarbonyle molybdenum deposition. It was established that at the normal pressure the deposition temperature strongly influences the layer formation. The outside layer is formed at the temperatures exceeding 400°C. In the process of the molybdenum layer formation on the porous support several different molybdenum phase structures are formed. It was shown that the formation of both porous and solid molybdenum layers is possible depending on the deposition temperature regime.
Keywords: composite inorganic membranes, ceramic support, Mo, CVD.
СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Экспериментальная часть
Обсуждение результатов
Выводы
Литература
[ На следующий раздел]
Copyright ©
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
