В настоящей работе представлены результаты исследования структуры Мо-слоя на пористой керамической подложке, полученного при различных условиях.

Температура подложки варьировалась от 210 до 400°С.

Контакт паров гексакарбонила Мо осуществлялся только с внешней поверхностью (стенкой) трубчатой подложки. Попадание паров на внутреннюю стенку предотвращалось специальными мерами. Максимальная продолжительность непрерывного осаждения не превышала двух часов и обуславливалась рабочим объемом испарителя гексакарбонила молибдена.

Структура внешней поверхности и поперечного сечения полученных образцов была исследована на сканирующем электронном микроскопе “HITACHI S-570” и оптическом микроскопе “ПОЛАМ Р-311”.

Оптическая микроскопия позволила нам получить общую картину осаждения Мо на поверхность пористой подложки, а некоторые особенности пористой структуры, находящиеся за пределами разрешающей способности оптического микроскопа, исследовались с помощью сканирующего электронного микроскопа.